国产高端光刻机实现新突破：上海芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运共1篇
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国产高端光刻机实现新突破：上海芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运

近日，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）宣布了一项重大进展：其自主研发的首台350nm步进光刻机（型号AST6200）已正式完成出厂调试与验收，并发往客户现场。这一里程碑事件，标志着我国在...
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